星空真人

等离子清洗机

应用于半导体与集成电路制造中的晶原清洗，新能源行业中的锂电池制造和光伏领域，医疗器械，航空航天和光学等

真空系统

5流道腔室同时处理

伺服自动进料系统

自动上片系统

离子表面处理系统

切换时间快，CT缩短，UPH提升

可同时兼容多款星空真人，无需调整轨道

使用低能耗高性能的电气原件来降低能耗成本

工艺特点

薄至0.1mm

星空真人厚度

±0.02mm

重复定位精度（mm）

<15S

CT时间（S）

真空系统
5流道腔室同时处理

伺服自动进料系统
自动上片系统

离子表面处理系统；切换时间快，CT缩短，UPH提升

可同时兼容多款星空真人，无需调整轨道

使用低能耗高性能的电气原件来降低能耗成本

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